氫氣發(fā)生器型號(hào)：Hydrogen-500（S）

Hydrogen-500（S）金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器是一種能夠連續(xù)可靠地產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，其純度可達(dá)到99.9999%以上。相比昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶，除此之外，該發(fā)生器還具有很大的優(yōu)勢(shì)，它只需要去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣，一次加水可持續(xù)工作長(zhǎng)達(dá)15天，成本低廉。同時(shí)，其安全性和簡(jiǎn)便性能使其成為替代高壓氫氣鋼瓶的理想選擇。

通過適時(shí)適量地產(chǎn)生氫氣，金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器能夠保持氫氣儲(chǔ)存體積和安全性。這種設(shè)備可以根據(jù)實(shí)際需求來調(diào)節(jié)氫氣的產(chǎn)生量，避免過量?jī)?chǔ)存氫氣所帶來的安全隱患。因此，氫氣發(fā)生器不僅能夠滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)高純度氫氣的需求，還能夠保證操作人員的安全。

Hydrogen-500（S）金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器采用SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù)，無需使用堿，直接電解純水。這種設(shè)計(jì)有效地保護(hù)了色譜柱。在結(jié)構(gòu)上，該設(shè)備配備了分子篩耐用干燥劑，以產(chǎn)生純度為99.9999%的氫氣，確保結(jié)果的重現(xiàn)性。此外，內(nèi)部采用了英國(guó)Peculiar硅橡膠圈（含硫量低），有效提高了氣體質(zhì)量，保證了GC基線的平穩(wěn)。

在功能方面，氫氣發(fā)生器集成了一體化微電腦控制的壓力和流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)。它還具備自動(dòng)水位控制功能，當(dāng)缺水狀態(tài)時(shí)會(huì)自動(dòng)停機(jī)，并具有自動(dòng)補(bǔ)水功能。當(dāng)Hydrogen-500（S）金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器水量低于15%時(shí)，外置水箱會(huì)自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)水，無需停機(jī)加水。這種設(shè)計(jì)有效地保護(hù)了電解池，延長(zhǎng)了使用壽命。

金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器技術(shù)參數(shù)：

Hydrogen-500（S）金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域扮演著至關(guān)重要的角色，其廣泛應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

1.清洗與退火：氫氣作為清洗氣體，能夠有效去除半導(dǎo)體材料表面的污染物和氧化物，提供清潔的表面環(huán)境。同時(shí)，在退火過程中，氫氣有助于晶體的再結(jié)晶，提升材料的質(zhì)量和性能。

2.賦活處理：通過將水合氧化物轉(zhuǎn)化為電氧化物，提高雜質(zhì)離子濃度，從而改善半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性。

3.硅取向和外延生長(zhǎng)調(diào)控：精確控制氫氣的流量和溫度，可以實(shí)現(xiàn)硅晶片特定方向的優(yōu)先生長(zhǎng)，獲得所需的硅材料取向，這對(duì)于半導(dǎo)體器件的制造至關(guān)重要。

4.清除氧污染：在特殊工藝中，利用氫氣清除氧氣污染，避免生成影響器件性能的氧化物，確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的高質(zhì)量。

5.CVD和MOCVD工藝：作為CVD（化學(xué)氣相沉積）和MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）技術(shù)中的專用設(shè)備，金剛石

MPCVD氫氣發(fā)生器能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣，滿足這些先進(jìn)制造工藝對(duì)氣體質(zhì)量的嚴(yán)格要求。

6.其他領(lǐng)域應(yīng)用：除了半導(dǎo)體制造，金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器還廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池、化學(xué)反應(yīng)、燃料電池等多個(gè)領(lǐng)域，為這些領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的氫氣供應(yīng)。